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雑誌プラズマ・核融合学会誌
巻号75(5)-75(8) 19990500-19990800(増刊共)
記事負イオンの生成および...

負イオンの生成および消滅過程 (特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展)

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負イオンの生成および消滅過程(特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展)

国立国会図書館請求記号
Z15-8
国立国会図書館書誌ID
4785288
資料種別
記事
著者
佐々木 浩一ほか
出版者
名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
出版年
1999-07
資料形態
デジタル
掲載誌名
プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編 75(7) 1999.07
掲載ページ
p.792～799
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資料詳細

要約等：

Negative ions strongly affect the transport and chemical reactions in fluorocarbon plasmas. In this article, a review is given of elementary processes...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
負イオンの生成および消滅過程
著者・編者
佐々木 浩一
河野 明廣
門田 清
シリーズタイトル
特集 材料プロセス用フルオロカーボンプラズマに関する基礎研究の進展
著者標目
佐々木 浩一
河野 明廣
門田 清
タイトル（掲載誌）
プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会 編
巻号年月日等（掲載誌）
75(7) 1999.07
掲載巻
75
掲載号
7
掲載ページ
792～799