方形波パルス無声放電を用いた非平衡プラズマ化学反応による高段差被覆性シリコン酸化膜の形成
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 石丸 和博岡崎 健
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会論文集. B編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 65 (通号 639) 1999.11
- 掲載巻
- 65
- 掲載通号
- 639
- 掲載ページ
- 3814～3820
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 1999-11