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雑誌Japanese journal of applied physics Part. 1 Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号Part. 1 Part. 1 38(12B)(511);DECEMBER 1999
記事Tip-Scanni...

Tip-Scanning Dynamic Force Microscope Using Piezoelectric Cantilever for Full Wafer Inspection (Special Issue:Microprocesses&Nanotechnology)

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CiNii Research

Tip-Scanning Dynamic Force Microscope Using Piezoelectric Cantilever for Full Wafer Inspection(Special Issue:Microprocesses&Nanotechnology)

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
4958387
資料種別
記事
著者
Jiaru Chuほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
1999-12
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 38(12B) (通号 511) 1999.12
掲載ページ
p.7155～7158
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資料詳細

要約等：

In this study we demonstrate the structure of a new dynamic force microscope (DFM) compatible with full wafer inspection. It is a tip-scanning-type DF...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
Tip-Scanning Dynamic Force Microscope Using Piezoelectric Cantilever for Full Wafer Inspection
著者・編者
Jiaru Chu
Ryutaro Maeda
Toshihiro Itoh 他
シリーズタイトル
Special Issue:Microprocesses&Nanotechnology
著者標目
Jiaru Chu
Ryutaro Maeda
Toshihiro Itoh
タイトル（掲載誌）
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）
38(12B) (通号 511) 1999.12
掲載巻
38
掲載号
12B
掲載通号
511