超精密マイクロ溝加工...

超精密マイクロ溝加工を利用したエンコーダ用回折格子の製作

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超精密マイクロ溝加工を利用したエンコーダ用回折格子の製作

国立国会図書館請求記号
Z16-1056
国立国会図書館書誌ID
5456331
資料種別
記事
著者
沢田 潔ほか
出版者
東京 : 日本機械学会 ; 1979-2010
出版年
2000-08
資料形態
掲載誌名
日本機械学会論文集. C編 66(648) 2000.8
掲載ページ
p.2846~2851
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
沢田 潔
尾高 俊一
河合 知彦 他
タイトル(掲載誌)
日本機械学会論文集. C編
巻号年月日等(掲載誌)
66(648) 2000.8
掲載巻
66
掲載号
648
掲載ページ
2846~2851
掲載年月日(W3CDTF)
2000-08