研究紹介 マイクロ波...

研究紹介 マイクロ波励起Kr/O2プラズマによるシリコン酸化膜の低温形成

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研究紹介 マイクロ波励起Kr/O2プラズマによるシリコン酸化膜の低温形成

国立国会図書館請求記号
Z15-243
国立国会図書館書誌ID
5497377
資料種別
記事
著者
大見 忠弘ほか
出版者
東京 : 応用物理学会
出版年
2000-10
資料形態
掲載誌名
応用物理 69(10) 2000.10
掲載ページ
p.1200~1204
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
大見 忠弘
須川 成利
平山 昌樹 他
タイトル(掲載誌)
応用物理
巻号年月日等(掲載誌)
69(10) 2000.10
掲載巻
69
掲載号
10
掲載ページ
1200~1204
掲載年月日(W3CDTF)
2000-10