誘導結合高周波プラズマ支援マグネトロンスパッタによる光学多層膜フィルタの作製と二酸化炭素濃度検出への応用
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 原 仁岸 直輝
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 44(4) 2001.4
- 掲載巻
- 44
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 440～444
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2001-04