圧電基板上の半導体フィルムボンディング膜のX線による観測

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圧電基板上の半導体フィルムボンディング膜のX線による観測

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
5870505
Material type
記事
Author
宮台 賢一郎ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2001-07-06
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 101(171) 2001.7.6
Publication Page
p.19~24
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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
宮台 賢一郎
中島 勉
青木 裕介 他
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
101(171) 2001.7.6
Volume
101
Issue
171
Pages
19~24
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2001-07-06