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アルミナの電子ビーム露光装置用超音波モーターへの応用 (特集2 セラミックスのトライボロジー部品への応用)

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アルミナの電子ビーム露光装置用超音波モーターへの応用

(特集2 セラミックスのトライボロジー部品への応用)

国立国会図書館請求記号
Z17-206
国立国会図書館書誌ID
6026665
資料種別
記事
著者
竹之内 一憲ほか
出版者
東京 : 日本セラミックス協会
出版年
2002-01
資料形態
掲載誌名
Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 37(1) 2002.1
掲載ページ
p.39~41
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
竹之内 一憲
足立 幸志
タイトル(掲載誌)
Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
37(1) 2002.1
掲載巻
37
掲載号
1
掲載ページ
39~41