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雑誌Japanese journal of applied physics Part. 1 Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号Part. 1 Part. 1 41(1)(550);JANUARY 2002
記事Recycling ...

Recycling of Metal-Organic Ru Precursor and the Influence of Organic Impurities on the Surface Morphology of Ruthenium Films

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CiNii Research

Recycling of Metal-Organic Ru Precursor and the Influence of Organic Impurities on the Surface Morphology of Ruthenium Films

国立国会図書館請求記号
Z53-A375
国立国会図書館書誌ID
6040361
資料種別
記事
著者
Koji Okamotoほか
出版者
Tokyo : Published by the Japan Society of Applied Physics through the Institute of Pure and Applied Physics
出版年
2002-01
資料形態
デジタル
掲載誌名
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP 41(1) (通号 550) 2002.1
掲載ページ
p.445～448
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資料詳細

要約等：

In order to investigate whether recycling of a metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) precursor, bis(ethylcyclopentadienyl)ruthenium (Ru(EtCp...

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デジタル

資料種別
記事
タイトル
Recycling of Metal-Organic Ru Precursor and the Influence of Organic Impurities on the Surface Morphology of Ruthenium Films
著者・編者
Koji Okamoto
Hiroaki Suzuki
Masayuki Saito 他
著者標目
Koji Okamoto
Hiroaki Suzuki
Masayuki Saito
タイトル（掲載誌）
Japanese journal of applied physics. Part. 1, Regular papers, brief communications & review papers : JJAP
巻号年月日等（掲載誌）
41(1) (通号 550) 2002.1
掲載巻
41
掲載号
1
掲載通号
550
掲載ページ
445～448