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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 吉森 昭夫徳本 洋志首藤 健一 他
- タイトル（掲載誌）
- 真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 45(4) 2002.4
- 掲載巻
- 45
- 掲載号
- 4
- 掲載ページ
- 377～380
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2002-04