反応性スパッタリング法によるε-,η-Mn窒素化合物薄膜の作製とその磁気的・電気的特性

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反応性スパッタリング法によるε-,η-Mn窒素化合物薄膜の作製とその磁気的・電気的特性

国立国会図書館請求記号
Z15-398
国立国会図書館書誌ID
6506056
資料種別
記事
著者
森尾 和正ほか
出版者
東京 : 日本磁気学会
出版年
2003
資料形態
デジタル
掲載誌名
日本応用磁気学会誌 27(4) (通号 183) 2003
掲載ページ
p.344~347
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資料詳細

要約等:

Polycrystalline thin films with an oriented direction of ε-Mn<sub>4</sub>N along the (111) axis and η-Mn<sub>3</sub>N<sub>2</sub> along the (113) axis...

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書誌情報

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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
森尾 和正
小泉 義晴
タイトル(掲載誌)
日本応用磁気学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
27(4) (通号 183) 2003
掲載巻
27
掲載号
4
掲載通号
183
掲載ページ
344~347