低温水素イオン注入に...

低温水素イオン注入により導入されたシリコン結晶欠陥の特性分析

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低温水素イオン注入により導入されたシリコン結晶欠陥の特性分析

Call No. (NDL)
Z74-B826
Bibliographic ID of National Diet Library
6719431
Material type
記事
Author
岩田 博之ほか
Publisher
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
Publication date
2003-06
Material Format
Paper
Journal name
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (5) 2003.6
Publication Page
p.45~49
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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
岩田 博之
徳田 豊
高木 誠 他
Periodical title
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
No. or year of volume/issue
(5) 2003.6
Issue
5
Pages
45~49
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2003-06
ISSN (Periodical Title)
1344-9672