マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS

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マイクロ・ナノマシニングによるMEMS/NEMS

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
6731626
資料種別
記事
著者
江刺 正喜ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2003-09-02
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 103(283) 2003.9.2
掲載ページ
p.13~18
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
江刺 正喜
小野 崇人
Minh Ngoc Phan
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
103(283) 2003.9.2
掲載巻
103
掲載号
283
掲載ページ
13~18
掲載年月日(W3CDTF)
2003-09-02