InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール (特集「LSI品質の保証のための提案」)

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InGaAsディテクタを用いたLSIエミッション裏面解析ツール(特集「LSI品質の保証のための提案」)

国立国会図書館請求記号
Z14-2023
国立国会図書館書誌ID
6985542
資料種別
記事
著者
九鬼 俊雄ほか
出版者
東京 : 日本信頼性学会
出版年
2004-06
資料形態
掲載誌名
信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌 26(4) (通号 136) 2004.6
掲載ページ
p.303~308
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
九鬼 俊雄
中村 智紀
板橋 裕行
タイトル(掲載誌)
信頼性 = The journal of Reliability Engineering Association of Japan : 日本信頼性学会誌
巻号年月日等(掲載誌)
26(4) (通号 136) 2004.6
掲載巻
26
掲載号
4
掲載通号
136