超精密マイクロV形止り溝の創成
デジタルデータあり（科学技術振興機構）
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 室田 真弘鈴村 宜暁石田 徹 他
- タイトル（掲載誌）
- 精密工学会誌論文集 / 会誌編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 70(5) (通号 833) 2004.05
- 掲載巻
- 70
- 掲載号
- 5
- 掲載通号
- 833
- 掲載ページ
- 677～682