メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価

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メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
7360344
資料種別
記事
著者
鎌田 直樹ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2005-05-26
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105(93) 2005.5.26
掲載ページ
p.27~31
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
鎌田 直樹
林 靖彦
曽我 哲夫 他
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
105(93) 2005.5.26
掲載巻
105
掲載号
93
掲載ページ
27~31
掲載年月日(W3CDTF)
2005-05-26