誘導結合RFプラズマCVD法によるカーボンナノチューブ配向成長(小特集プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題)

国立国会図書館請求記号: Z15-8
国立国会図書館書誌ID: 7678007

資料種別: 記事

著者: 本多信一ほか

出版者: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会

出版年: 2005-09

資料形態: デジタル

掲載誌名: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編 81(9) 2005.9

掲載ページ: p.660～664

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資料詳細

要約等：: Inductively coupled plasma chemical vapor deposition combined with substrate biasing using a gas mixture of methane and hydrogen was applied to low-te...

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デジタル

資料種別: 記事
タイトル: 誘導結合RFプラズマCVD法によるカーボンナノチューブ配向成長
著者・編者: 本多信一
尾浦憲治郎
片山光浩
シリーズタイトル: 小特集プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題
著者標目: 本多信一
尾浦憲治郎
片山光浩
タイトル（掲載誌）: プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research / プラズマ・核融合学会編集委員会編
巻号年月日等（掲載誌）: 81(9) 2005.9
掲載巻: 81
掲載号: 9
掲載ページ: 660～664
掲載年月日（W3CDTF）: 2005-09
ISSN（掲載誌）: 0918-7928
ISSN-L（掲載誌）: 0918-7928
出版事項（掲載誌）: 名古屋 : プラズマ・核融合学会編集委員会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: aligned carbon nanotube
aligned carbon nanofiber
inductively coupled plasma
chemical vapor deposition
low-temperature process
hydrogen species
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
コレクション（個別）: 国立国会図書館デジタルコレクション > 電子書籍・電子雑誌 > 学術機関 > 学協会
https://dl.ndl.go.jp/collections/B00043
オンライン閲覧公開範囲: インターネット公開
遠隔複写可否（NDL）: 不可
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z15-8
関連情報（URI）: http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456023
関連情報（国立国会図書館永続的識別子）: info:ndljp/pid/10456023
http://dl.ndl.go.jp/info:ndljp/pid/10456023
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 7678007
http://id.ndl.go.jp/bib/7678007
整理区分コード: 632

誘導結合RFプラズマCVD法によるカーボンナノチューブ配向成長(小特集 プラズマプロセスによるカーボンナノチューブ配向成長の現状と課題)

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