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雑誌静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
巻号(26) 2005.3
記事Improved r...

Improved resolution of a projection lens by a phase shifting mask and a cover glass

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Improved resolution of a projection lens by a phase shifting mask and a cover glass

国立国会図書館請求記号
Z16-1103
国立国会図書館書誌ID
7706311
資料種別
記事
著者
Y. Okamotoほか
出版者
浜松 : 静岡大学大学院電子科学研究科
出版年
2005-03
資料形態
紙
掲載誌名
静岡大学大学院電子科学研究科研究報告 (26) 2005.3
掲載ページ
p.39～41
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紙

資料種別
記事
タイトル
Improved resolution of a projection lens by a phase shifting mask and a cover glass
著者・編者
Y. Okamoto
M. Ogita
著者標目
Y. Okamoto
M. Ogita
タイトル（掲載誌）
静岡大学大学院電子科学研究科研究報告
巻号年月日等（掲載誌）
(26) 2005.3
掲載号
26
掲載ページ
39～41
掲載年月日（W3CDTF）
2005-03
ISSN（掲載誌）
0388-5070