Aggregation of Nitrogen on Oxygen Precipitate in Annealed Czochralski Silicon Wafer Observed by Secondary Ion Mass Spectroscopy Measurement

掲載誌名: Japanese journal of applied physics. Part 2, Letters & express letters 45(4-7) (通号 438) 2006

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資料種別: 記事
タイトル: Aggregation of Nitrogen on Oxygen Precipitate in Annealed Czochralski Silicon Wafer Observed by Secondary Ion Mass Spectroscopy Measurement
著者・編者: Katsuto Tanahashi
Hiroshi Yamada-Kaneta
著者標目: Katsuto Tanahashi
Hiroshi Yamada-Kaneta
タイトル（掲載誌）: Japanese journal of applied physics. Part 2, Letters & express letters
巻号年月日等（掲載誌）: 45(4-7) (通号 438) 2006
掲載巻: 45
掲載号: 4-7
掲載通号: 438
掲載ページ: L148～150
掲載年月日（W3CDTF）: 2006
ISSN（掲載誌）: 0021-4922
ISSN-L（掲載誌）: 0021-4922
出版事項（掲載誌）: Tokyo : Japan Society of Applied Physics
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: SIMS
Infrared absorption
NDLC: ZM35
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z54-J337
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 7822075
http://id.ndl.go.jp/bib/7822075
整理区分コード: 632