非晶質Asマスクを用いたInの部分拡散によるGaInAs/GaAs構造の選択形成

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非晶質Asマスクを用いたInの部分拡散によるGaInAs/GaAs構造の選択形成

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
7938928
Material type
記事
Author
則竹 陽介ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2006-05
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106(45) 2006.5.18-19
Publication Page
p.85~90
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
則竹 陽介
山田 巧
田渕 雅夫 他
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
106(45) 2006.5.18-19
Volume
106
Issue
45
Pages
85~90
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2006-05