Evaluation of [111]-Textured Cu Layer Formed on Thin Nb Barrier Layer on SiO2 (AWAD2006)

Evaluation of [111]-Textured Cu Layer Formed on Thin Nb Barrier Layer on SiO2

(AWAD2006)

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資料種別: 記事
タイトル: Evaluation of [111]-Textured Cu Layer Formed on Thin Nb Barrier Layer on SiO2
著者・編者: Md. Maniruzzaman
Mayumi B. Takeyama
Masaru Sato 他
シリーズタイトル: AWAD2006
著者標目: Md. Maniruzzaman
Mayumi B. Takeyama
Masaru Sato
タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等（掲載誌）: 106(138) 2006.7.3-5
掲載巻: 106
掲載号: 138
掲載ページ: 217～222
掲載年月日（W3CDTF）: 2006-07
ISSN（掲載誌）: 0913-5685
ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: eng
件名標目: Cu [111] texture
Thin Nb layer
Preferential orientation
X-ray reflectivity
NDLC: ZN33
対象利用者: 一般
レポート番号（雑誌記事）: SDM2006-108
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-940
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 8016862
http://id.ndl.go.jp/bib/8016862
整理区分コード: 632