XPSおよびC-V測定によるCat-CVD SiN保護膜を有するAlGaN/GaN HFETの表面バリアハイト評価

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XPSおよびC-V測定によるCat-CVD SiN保護膜を有するAlGaN/GaN HFETの表面バリアハイト評価

Call No. (NDL)
Z16-940
Bibliographic ID of National Diet Library
8539776
Material type
記事
Author
小野島 紀夫ほか
Publisher
東京 : 電子情報通信学会
Publication date
2006-10
Material Format
Paper
Journal name
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106(270) 2006.10.5・6
Publication Page
p.35~38
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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
記事
Author/Editor
小野島 紀夫
東脇 正高
須田 淳 他
Periodical title
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
No. or year of volume/issue
106(270) 2006.10.5・6
Volume
106
Issue
270
Pages
35~38
Publication date of volume/issue (W3CDTF)
2006-10