チョクラルスキー法による単結晶Si引上炉における液面位置オンライン測定技術の開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 高梨 啓一末岡 浩治福谷 征史郎
- 並列タイトル等
- Online measurement technique for melt surface level of Si crystal in growth furnace of Czochralski method
- タイトル（掲載誌）
- 日本機械学会論文集. C編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 73(735) 2007.11
- 掲載巻
- 73
- 掲載号
- 735
- 掲載ページ
- 2976～2981