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高周波マグネトロンス...

高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した結晶性GaTe薄膜の膜構造と光吸収スペクトル

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高周波マグネトロンスパッタリング法により作製した結晶性GaTe薄膜の膜構造と光吸収スペクトル

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
9303841
資料種別
記事
著者
大山 昌憲ほか
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2007-11
資料形態
掲載誌名
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan 50(11) 2007.11
掲載ページ
p.678~679
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
大山 昌憲
伊藤 浩
竹内 学
並列タイトル等
Film structure and photo absorption spectrum of crystalline GaTe thin films growth by radio-frequency magnetron sputtering method
タイトル(掲載誌)
真空 = Journal of the Vacuum Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
50(11) 2007.11
掲載巻
50
掲載号
11
掲載ページ
678~679