ストライプ型チャネルを持つ多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性ばらつきの評価 (シリコン材料・デバイス)

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ストライプ型チャネルを持つ多結晶シリコン薄膜トランジスタの特性ばらつきの評価

(シリコン材料・デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
9489149
資料種別
記事
著者
秋山 浩司ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2008-04
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 108(1) 2008.4.11・12
掲載ページ
p.23~26
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
秋山 浩司
渡邉 一徳
浅野 種正
シリーズタイトル
並列タイトル等
Investigation on characteristic variation of polycrystalline-Si thin film transistor having stripe channels
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
108(1) 2008.4.11・12
掲載巻
108
掲載号
1