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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 曽根川 富博上原 和浩前濱 剛廣
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Preparation and characterization of thermal oxidization anodized Si with a low-k dielectric constant
- タイトル（掲載誌）
- 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 108(1) 2008.4.11・12
- 掲載巻
- 108
- 掲載号
- 1