光学プロファイリングのための波長走査干渉計測 (干渉計測における最近のトピックス)

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光学プロファイリングのための波長走査干渉計測

(干渉計測における最近のトピックス)

国立国会図書館請求記号
Z15-269
国立国会図書館書誌ID
9691385
資料種別
記事
著者
日比野 謙一
出版者
東京 : 日本光学会
出版年
2008-10
資料形態
掲載誌名
光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan 37(10) 2008.10
掲載ページ
p.564~569
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
日比野 謙一
著者標目
並列タイトル等
Optical profiling by wavelength scanning interferometers
タイトル(掲載誌)
光学 = Japanese journal of optics : publication of the Optical Society of Japan
巻号年月日等(掲載誌)
37(10) 2008.10
掲載巻
37
掲載号
10