超音波デバイス 多層...

超音波デバイス 多層薄膜/金属電極/圧電基板構造高結合弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験

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超音波デバイス 多層薄膜/金属電極/圧電基板構造高結合弾性境界波の伝搬特性・温度特性の解析と実験

国立国会図書館請求記号
Z14-1555
国立国会図書館書誌ID
9789864
資料種別
記事
著者
山之内 和彦ほか
出版者
東京 : 日本工業出版
出版年
2009
資料形態
掲載誌名
超音波techno / 超音波techno編集部 編 21(1) (通号 196) 2009.1・2
掲載ページ
p.84~89
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
山之内 和彦
佐藤 悠介
タイトル(掲載誌)
超音波techno / 超音波techno編集部 編
巻号年月日等(掲載誌)
21(1) (通号 196) 2009.1・2
掲載巻
21
掲載号
1
掲載通号
196
掲載ページ
84~89