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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 山内規義 [著]
- 著者標目
- 山内, 規義 ヤマウチ, ノリヨシ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- 自己整合Metal-insulator-semiconductorプロセスに関する研究 ジコ セイゴウ Metal - insulator - semiconductor プロセス ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 九州大学
- 授与年月日
- 昭和61年4月28日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1986
- 報告番号
- 乙第3717号