博士論文

横方向固相成長による堆積非晶質Si膜の単結晶化に関する研究

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横方向固相成長による堆積非晶質Si膜の単結晶化に関する研究

国立国会図書館請求記号
UT51-60-O151
国立国会図書館書誌ID
000000175871
資料種別
博士論文
著者
山本浩 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京工業大学,工学博士
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資料種別
博士論文
タイトルよみ
ヨコホウコウ コソウ セイチョウ ニ ヨル タイセキ ヒショウシツ Siマク ノ タンケッショウカ ニ カンスル ケンキュウ
著者・編者
山本浩 [著]
著者標目
山本, 浩 ヤマモト, ヒロシ
数量
授与機関名
東京工業大学
授与年月日
昭和60年3月26日
授与年月日(W3CDTF)
1985
報告番号
甲第1666号