Studies of fragment-emission cross sections by electron impact on simple molecules used for plasma processing
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 佐藤俊彦 [著]
- 著者標目
- 佐藤, 俊彦 サトウ, トシヒコ
- 並列タイトル等
- 電子衝突によって生じるプラズマプロセス用分子の分解生成種の発光断面積の研究 デンシ ショウトツ ニ ヨッテ ショウジル プラズマ プロセスヨウ ブンシ ノ ブンカイ セイセイシュ ノ ハッコウ ダンメンセキ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 昭和62年6月2日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1987
- 報告番号
- 甲第1975号
- 学位
- 工学博士