博士論文

Investigation regarding impurity diffusion and point defects in silicon

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Investigation regarding impurity diffusion and point defects in silicon

国立国会図書館請求記号
UT51-60-S391
国立国会図書館書誌ID
000000182603
資料種別
博士論文
著者
水尾祥一 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
東京大学,工学博士
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博士論文

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書誌情報

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資料種別
博士論文
著者・編者
水尾祥一 [著]
著者標目
水尾, 祥一 ミズオ, ショウイチ
数量
並列タイトル等
シリコン中の不純物拡散および点欠陥に関する研究 シリコンチュウ ノ フジュンブツ カクサン オヨビ テンケッカン ニ カンスル ケンキュウ
授与機関名
東京大学
授与年月日
昭和59年6月14日
授与年月日(W3CDTF)
1984
報告番号
乙第6920号