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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 柴田直 [著]
- 著者標目
- 柴田, 直 シバタ, タダシ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- 集積回路技術における多結晶シリコン及びシリサイドのレーザアニールに関する研究 シュウセキ カイロ ギジュツ ニ オケル タケッショウ シリコン オヨビ シリサイド ノ レーザ アニール ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 昭和59年9月20日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1984
- 報告番号
- 乙第6998号