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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 唐島照介 [著]
- 著者標目
- 唐島, 照介 カラシマ, ショウスケ
- 数量
- 冊
- 並列タイトル等
- 分子イオン衝撃によるスパッタ率の非線形効果 ブンシ イオン ショウゲキ ニ ヨル スパッタリツ ノ ヒセンケイ コウカ
- 授与機関名
- 東京理科大学
- 授与年月日
- 昭和59年7月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1984
- 報告番号
- 乙第189号
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