Mechanism of silicon etching with microwave plasma
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 二宮健 [著]
- 著者標目
- 二宮, 健 ニノミヤ, ケン
- 並列タイトル等
- マイクロ波プラズマによるシリコンエッチングの機構 マイクロハ プラズマ ニ ヨル シリコン エッチング ノ キコウ
- 授与機関名
- 東京大学
- 授与年月日
- 昭和61年11月13日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1986
- 報告番号
- 乙第8061号
- 学位
- 工学博士