集束イオンビーム技術のマスクレス選択ドーピングプロセスへの応用に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シュウソク イオン ビーム ギジュツ ノ マスクレス センタク ドーピング プロセス エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 宮内榮三 [著]
- 著者標目
- 宮内, 榮三 ミヤウチ, エイゾウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月17日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 乙第4408号
- 学位
- 工学博士