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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- スイソ プラズマ アニール ニ ヨッテ スイソカ シタ ネツ ブンカイ アモルファス Si ノ トクセイ ト デバイス ヘ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 中下俊夫 [著]
- 著者標目
- 中下, 俊夫 ナカシタ, トシオ
- 出版事項
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 広島大学
- 授与年月日
- 昭和58年12月15日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1983