プラズマによる薄膜形成とその応用における水素の制御に関する研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- プラズマ ニ ヨル ハクマク ケイセイ ト ソノ オウヨウ ニ オケル スイソ ノ セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 豊田浩孝 [著]
- 著者標目
- 豊田, 浩孝 トヨダ, ヒロタカ
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月25日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 甲第2063号
- 学位
- 工学博士