Fundamental study of precise Auger depth profiling for polycrystalline metal films
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 種村眞幸 [著]
- 著者標目
- 種村, 眞幸 タネムラ, マサキ
- 並列タイトル等
- 多結晶金属薄膜の精密オージェ・デプス分析に関する基礎研究 タケッショウ キンゾク ハクマク ノ セイミツ オージェ デプス ブンセキ ニ カンスル キソ ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋工業大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 甲第4号
- 学位
- 工学博士