浮遊微粒子の遠隔計測によるクリーンルーム内の表面汚染に関する研究 : 汚染制御対象部位近傍における浮遊微粒子の挙動を中心として
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- フユウ ビリュウシ ノ エンカク ケイソク ニ ヨル クリーン ルームナイ ノ ヒョウメン オセン ニ カンスル ケンキュウ : オセン セイギョ タイショウ ブイ キンボウ ニ オケル フユウ ビリュウシ ノ キョドウ オ チュウシン ト シテ
- 著者・編者
- 金光映 [著]
- 著者標目
- 金, 光映 キム, クワンヨン
- 授与機関名
- 東京工業大学
- 授与年月日
- 昭和63年3月26日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1988
- 報告番号
- 甲第1936号
- 学位
- 工学博士