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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- コウシュウハ スパッタリングホウ ニ ヨル シリコン ハンドウタイヨウ SiO2 ヒョウメン ホゴマク ケイセイ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 原邦彦 [著]
- 著者標目
- 原, 邦彦 ハラ, クニヒコ
- 数量
- 冊
- 授与機関名
- 名古屋大学
- 授与年月日
- 昭和59年7月5日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1984
- 報告番号
- 乙第2650号
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