Glow discharge sputtering phenomena and the detection of sputtered species for the application to surface spectrochemical analysis
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- Teo Wei Boon [著]
- 著者標目
- Teo Wei Boon ティオ ウェイ ブン
- 並列タイトル等
- グロー放電によるスパッタリング現象の原子スペクトル測定とその表面分析への応用 グロー ホウデン ニ ヨル スパッタリング ゲンショウ ノ ゲンシ スペクトル ソクテイ ト ソノ ヒョウメン ブンセキ エ ノ オウヨウ
- 授与機関名
- 東北大学
- 授与年月日
- 平成1年3月24日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1989
- 報告番号
- 甲第4062号
- 学位
- 工学博士