博士論文
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Growth of silicon oxide and formation of reactive gases induced by corona discharge

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Growth of silicon oxide and formation of reactive gases induced by corona discharge

国立国会図書館請求記号
UT51-89-M195
国立国会図書館書誌ID
000000221399
国立国会図書館永続的識別子
info:ndljp/pid/11567305
資料種別
博士論文
著者
梨本恵一 [著]
出版者
-
出版年
-
資料形態
紙・デジタル
ページ数・大きさ等
-
授与大学名・学位
名古屋工業大学,工学博士
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書誌情報

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デジタル

資料種別
博士論文
著者・編者
梨本恵一 [著]
著者標目
梨本, 恵一 ナシモト, ケイイチ
並列タイトル等
コロナ放電による酸化珪素の成長と反応性気体の生成 コロナ ホウデン ニ ヨル サンカ ケイソ ノ セイチョウ ト ハンノウセイ キタイ ノ セイセイ
授与機関名
名古屋工業大学
授与年月日
平成1年3月17日
授与年月日(W3CDTF)
1989
報告番号
乙第4号
学位
工学博士