Studies on thin films of functional polymers for electronic applications : molecular design in focus on EB resist materials
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国立国会図書館デジタルコレクション
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 小口清 [著]
- 著者標目
- 小口, 清 オグチ, キヨシ
- 並列タイトル等
- 機能性高分子薄膜のエレクトロニクスへの応用 : EBレジスト材料を中心とした分子設計 キノウセイ コウブンシ ハクマク ノ エレクトロニクス エ ノ オウヨウ : EB レジスト ザイリョウ オ チュウシン ト シタ ブンシ セッケイ
- 授与機関名
- 上智大学
- 授与年月日
- 平成1年7月11日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1989
- 報告番号
- 乙第60号
- 学位
- 工学博士