シリコンイオン注入によりアモルファス化したシリコンの固相再結晶化に関する研究
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
書店で探す
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- シリコン イオン チュウニュウ ニ ヨリ アモルファスカシタ シリコン ノ コソウ サイケッショウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 著者・編者
- 水島一郎 [著]
- 著者標目
- 水島, 一郎 ミズシマ, イチロウ
- 授与機関名
- 慶應義塾大学
- 授与年月日
- 平成1年3月31日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1989
- 報告番号
- 甲第941号
- 学位
- 工学博士