The study of crystallization of AlN induced by ion implantation into AlNx thin films
図書館・個人送信サービスを利用する
収録元データベースで確認する
国立国会図書館デジタルコレクション
国立国会図書館の登録利用者（本登録）の方を対象とした、個人送信サービスで閲覧可能です。ただし、日本国外に居住している場合は、個人送信サービスを利用できません。
書店で探す
障害者向け資料で読む
目次
Contents
p1
ABSTRACT
p4
CHAPTER 1 INTRODUCTION
p1
CHAPTER 2 COMPOSITION AND STRUCTURE OF N-IMPLANTED AlN₀.₈ THIN FILMS
p5
2.1 Introduction
p5
書店で探す
障害者向け資料で読む
- みなサーチ
- プレーンテキスト
みなサーチに登録・ログインで利用できます
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 小林健三 [著]
- 著者標目
- 小林, 健三 コバヤシ, ケンゾウ
- 並列タイトル等
- イオン注入による窒化アルミニウム薄膜中の結晶成長の研究 イオン チュウニュウ ニ ヨル チッカ アルミニウム ハクマクチュウ ノ ケッショウ セイチョウ ノ ケンキュウ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成2年12月20日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1990
- 報告番号
- 甲第4224号
- 学位
- 工学博士