レーザ再結晶化SOI技術とその三次元回路素子への応用の研究
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目次
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第1章 序章
p1
1-1 研究の背景
p1
1-2 三次元回路素子
p2
1-3 三次元回路素子のためのSOI技術
p3
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- レーザ サイケッショウカ SOI ギジュツ ト ソノ サンジゲン カイロ ソシ エ ノ オウヨウ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- 須賀原和之 [著]
- 著者標目
- 須賀原, 和之 スガハラ, カズユキ
- 授与機関名
- 大阪大学
- 授与年月日
- 平成2年12月19日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1990
- 報告番号
- 乙第5224号
- 学位
- 工学博士