Study on physical-chemical interactions between plasma and solid surface for thin film processings
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
論文目録
Table of Contents
p5
Abstract
p1
Acknowledgements
p3
Chapter 1 Introduction
p1
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトル
- 著者・編者
- 山本憲治 [著]
- 著者標目
- 山本, 憲治 ヤマモト, ケンジ
- 並列タイトル等
- 薄膜形成プロセッシングにおけるプラズマと表面との物理化学的相互作用に関する研究 ハクマク ケイセイ プロセッシング ニ オケル プラズマ ト ヒョウメン ト ノ ブツリ カガクテキ ソウゴ サヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 京都大学
- 授与年月日
- 平成3年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 乙第7488号
- 学位
- 工学博士