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目次
CONTENTS
p3
I.INTRODUCTION
p1
References
p4
II.CHARACTERISTICS OF DEEP LEVELS IN Si-IMPLANTED GaAs LAYERS ACTIVATED BY RAPID THERMAL PROCESSING
p9
2.1 Introduction
p9
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- 著者・編者
- 北川章夫 [著]
- 著者標目
- 北川, 章夫 キタガワ, アキオ
- 並列タイトル等
- 短時間熱処理されたGaAsの深い準位の評価と光電素子への応用に関する研究 タンジカン ネツ ショリサレタ GaAs ノ フカイ ジュンイ ノ ヒョウカ ト コウデン ソシ エ ノ オウヨウ ニ カンスル ケンキュウ
- 授与機関名
- 名古屋工業大学
- 授与年月日
- 平成3年3月15日
- 授与年月日(W3CDTF)
- 1991
- 報告番号
- 乙第23号
- 学位
- 工学博士