マイクロ波プラズマのアフタグローにおける薄膜堆積過程の研究
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国立国会図書館デジタルコレクション
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目次
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p4
第1章 序論
p1
1.1節 アフタグローCVD法の背景
p1
1.2節 研究の概説､目的
p4
1.3節 論文の構成
p5
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書誌情報
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- 資料種別
- 博士論文
- タイトルよみ
- マイクロハ プラズマ ノ アフタグロー ニ オケル ハクマク タイセキ カテイ ノ ケンキュウ
- 著者・編者
- Meikle, Scott Gerald [著]
- 著者標目
- Meikle, Scott Gerald ミークル, スコット ジェラルド
- 授与機関名
- 静岡大学
- 授与年月日
- 平成3年3月23日
- 授与年月日（W3CDTF）
- 1991
- 報告番号
- 甲第61号
- 学位
- 工学博士